Co₂ 레이저 처리와 호환되는 슬롯 코어 기판 개발 시작
차세대 반도체 패키지 기판의 제조 공정을 대규모로 간소화합니다
Nippon Electric Glass Co., Ltd. (본사 : OTSU City, Shiga Prefecture, President : Kishimoto Akira)는 다재다능한 CO2 레이저를 사용하여 시동 할 수있는 새로운 슬롯 코어 기판을 개발하기 시작했습니다.

개발 배경
최근 몇 년 동안 AI 반도체의 성능이 증가함에 따라 Chiplet 구조가 달성되었습니다*가 채택되면 설치된 다이 수가 증가하고 다이 수가 증가했습니다. 결과적으로, 반도체 칩을 마더 보드에 연결하기위한 더 큰 코어 보드에 대한 수요가 증가하고 있습니다.
현재 주류 수지 기판은 크기 증가로 인해 차원 안정성, 열 팽창 계수, 강성 및 열 소산 성능에 문제가있어 차세대 고성능, 고밀도 적용 및 슬롯를 수용하기가 어려워 이러한 문제를 해결하는 재료로 관심을 끌기가 어렵습니다. 그러나, 슬롯 코어 기판에서 구멍 (VIA)을 통해 미세한 형성하려면 레이저 변형과 산 및 알칼리 에칭을 결합한 복잡한 프로세스가 필요하므로 기술 난이도, 처리 시간 및 자본 투자 측면에서 문제가 발생합니다.
현재 개발중인 Glass Core 기판은 매우 다재다능한 COS 레이저를 사용하여 HOLES (VIAS)를 통해 미세 처리 할 수 있으므로 위에서 언급 한 과제를 극복하는 혁신적인 기술입니다. 슬롯 조성 및 레이저 가공 조건을 최적화함으로써 일부 구멍 모양의 균열 구멍을 성공적으로 뚫었으며 다양한 구멍 모양으로 확장하기 위해 개발을 계속하고 있습니다. 개발이 완료되면이 Glass Core 기판을 Glass Core 비즈니스 라인업에 추가하고 다양한 고객 요구를 충족시킬 계획입니다.
*Chiplet 구조는 무엇입니까
제조 비용을 줄이고 기능을 전통적인 단일 대형 반도체 칩이 아닌 여러 소형 칩 (Chiplet)으로 분할하여 고성능 배선 기술과 연결하여 제조 비용을 줄이고 성능을 향상시키는 반도체 설계 및 제조 방법



상단 부품 Ø75μm, 피치 250μm, 기판 두께 0.4mm를 통해 Mechanics Co., Ltd. 레이저 처리 기계
개발 목표
생산성 향상
・ 플레이트 슬롯 성형 기술 (오버 플로우 방법)을 사용하여 대량 생산 기술 확립
・ Co₂ 레이저를 사용한 고속 가공을 할 때에도 균열이 발생하지 않습니다
・ Co₂ 레이저를 사용한 고속 가공 가공 시간이 크게 줄어 듭니다
・ 자본 투자를 줄이기위한 기존 제조 시설의주의
우수한 신뢰성
・ 온도와 습도 (차원 안정성)에 의해 영향을 받기 위해 내성이 있으며 열 발생 등으로 인해 뒤틀림을 억제합니다.
・ 우수한 평탄도, 부드러움 및 강성, 미세 배선 및 고밀도 장착을 허용
미래 전망
우리 회사는 2024 년 6 월에 발표 된 GC Core ™ (복합 유리 및 세라믹 기판)과 현재 개발중인 Glass Core 기판을 사용하여 CO2 레이저 처리에 사용할 수있는 무기 코어 기판 라인업을 확장하여 다양한 요구를 충족시킬 것입니다. AI 및 데이터 센터 반도체 시장이 확대됨에 따라 무기 코어 기판에 대한 수요는 향후 증가 할 것으로 예상됩니다. 차세대 반도체를 지원하는 주요 자료의 선도적 인 회사로서 우리 회사는 기술 혁신 및 제품 개발에서 계속 일할 것입니다.
GC Core ™ | Glass Core Board |
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개발 상태 및 미래 계획
・ 슬롯 구성 및 레이저 처리 조건
・ 2025 년 말까지 크기를 515 x 510 mm로 증가시키는 것을 목표로 개발 촉진
・ 상업화에 대한 신뢰성 평가가 진행 중
・ 300mm Square 보드는 "Semicon Japan 2024"에서 12 월 11 일부터 13 일까지 개최 될 예정
전시 이름 : Semicon Japan 2024
기간 : 12 월 11 일 수요일 - 2024 년 12 월 13 일 금요일
장소 : 도쿄 큰 시력
부프 번호 : 2135
전시 초대장 티켓 신청 사이트 (무료) :
https : //www.semiconjapan.org/jp
반도체 패키지에 대한 무기 코어 보드 제품 페이지
Nippon Electric Glass 소개
Nippon Electric Glass Co., Ltd.는 시가 현 오츠시에 본사를 둔 세계적 수준의 특별 유리 제조업체입니다. 새로운 기능을 만드는 특수 유리는 보드, 파이프, 스레드 및 분말을 포함한 다양한 제품으로 변형되었으며 반도체, 디스플레이, 자동차, 전자 장치, 의료 및 에너지를 포함한 광범위한 필드에서 활성화되어 있습니다. 우리의 기술과 70 년 이상의 역사에 대한 연마 기록을 사용하여 개발 된 특별 유리는 일상 생활의 규범에서 산업의 최첨단에 이르기까지 광범위한 분야에서 높은 찬사를 받았습니다.
Nippon Electric Glass Co., Ltd. 2-7-1 Haruarashi, Otsu City, Shiga Perfecture 520-8639
《릴리스 세부 정보에 관한 문의》
일반 사무국 홍보 책임자 전화 : 077-537-1702 (다이얼 인)
《제품 문의》
전자 부품 비즈니스 부서 영업 부서 전화 : 06-6399-2722 (다이얼 인)
또는 아래 양식을 사용하십시오.
*문의 카테고리 : 반도체에 대한 지원 유리